டூல் ரீகிரைண்டிங் மற்றும் ரீகோட்டிங்

மறுபூச்சு வரம்பு
ஒரு கருவியை பல முறை மீண்டும் தரையிறக்குவது போல், கருவியின் வெட்டு விளிம்பையும் பல முறை பூசலாம்.கருவியின் செயல்திறனை மேம்படுத்துவதற்கான திறவுகோல், கருவியின் மேற்பரப்பில் நல்ல ஒட்டுதலுடன் கூடிய பூச்சுகளைப் பெறுவதாகும்.
கட்டிங் எட்ஜ் தவிர, கருவியின் வகை மற்றும் எந்திரத்தில் பயன்படுத்தப்படும் வெட்டு அளவுருக்கள் ஆகியவற்றைப் பொறுத்து, கருவியின் ஒவ்வொரு அரைக்கும் போது மீதமுள்ள கருவி மேற்பரப்பை பூசவோ அல்லது மீண்டும் பூசவோ தேவையில்லை.ஹோப்ஸ் மற்றும் ப்ரோச்ஸ் ஆகியவை மீண்டும் பூசும்போது அனைத்து அசல் பூச்சுகளையும் அகற்ற வேண்டிய கருவிகள், இல்லையெனில் கருவி செயல்திறன் குறைக்கப்படும்.அழுத்தத்தால் ஏற்படும் ஒட்டுதல் பிரச்சனை முக்கியத்துவம் பெறுவதற்கு முன், பழைய பூச்சுகளை அகற்றாமல் கருவியை சில முறை மீண்டும் பூசலாம்.PVD பூச்சு உலோக வெட்டுக்கு நன்மை பயக்கும் எஞ்சிய சுருக்க அழுத்தத்தைக் கொண்டிருந்தாலும், பூச்சு தடிமன் அதிகரிப்புடன் இந்த அழுத்தம் அதிகரிக்கும், மேலும் ஒரு நிலையான வரம்பை மீறிய பிறகு பூச்சு சிதைக்கத் தொடங்கும்.பழைய பூச்சு அகற்றாமல் மீண்டும் பூசும்போது, ​​கருவியின் வெளிப்புற விட்டத்தில் ஒரு தடிமன் சேர்க்கப்படுகிறது.துரப்பணத்திற்கு, துளை விட்டம் பெரிதாகிறது என்று அர்த்தம்.எனவே, கருவியின் வெளிப்புற விட்டம் மீது பூச்சு கூடுதல் தடிமன் செல்வாக்கை கருத்தில் கொள்ள வேண்டும், அதே போல் இயந்திர துளை விட்டம் பரிமாண சகிப்புத்தன்மை இரண்டு செல்வாக்கு.

பழைய பூச்சுகளை அகற்றாமல் ஒரு டிரில் பிட்டை 5 முதல் 10 முறை பூசலாம், ஆனால் அதன் பிறகு, அது கடுமையான பிழை சிக்கல்களை எதிர்கொள்ளும்.ஸ்பெக் டூல்ஸின் துணைத் தலைவர் டென்னிஸ் க்ளீன், ± 1 µ m என்ற பிழை வரம்பிற்குள் பூச்சு தடிமன் ஒரு பிரச்சனையாக இருக்காது என்று நம்பினார்;இருப்பினும், பிழை 0.5 ~ 0.1 µ m வரம்பிற்குள் இருக்கும்போது, ​​பூச்சு தடிமனின் செல்வாக்கைக் கருத்தில் கொள்ள வேண்டும்.பூச்சு தடிமன் ஒரு பிரச்சனையாக மாறாத வரை, ரீகோடட் மற்றும் ரீகிரவுண்ட் கருவிகள் அசல் கருவிகளை விட சிறந்த செயல்திறனைக் கொண்டிருக்கலாம்.